MOTT過濾器Sentry系列技術參數(shù)
SPECIFICATIONS | |
Particle Removal Size: | > 0.0015 μm |
Filter Efficiency (Log Reduction Value): | ≥ 9 LRV (99.9999999% reduction in particles). |
Helium Leak Ratig: | 1 x 10-9 atm cc/sec |
Moisture Contributio: | <10 ppb after 1 hour at low-flow ambient purge per SEMI F27 test method |
Total Hydrocarbons: | Below detectable limits per ASTM F1398 test method |
Particle Shedding: | Zero particle contribution above background (<1 particle/ft3) per SEMI F43-0308 test method |
Maximum Operating Temperature | 450° C |
MOTT過濾器Sentry系列介紹
Sentry 系列使用點過濾器是經濟高效的全金屬高純度氣體過濾器，采用 Penta 鎳介質，可對小至 0.0015 μm 的顆粒進行 9 對數(shù)過濾，從而產生無顆粒氣體。
The Sentry Series point-of-use filters are cost-effective, all-metal, ultra high purity gas filters that utilize Mott patented Penta nickel media and provide 9-log filtration of particles down to 0.0015 μm, resulting in particle-free gas.
MOTT過濾器Sentry系列其他常用型號：
MOTT SEN331NFF11
MOTT SEN280NFP11
MOTT SEN112NTT11
MOTT SEN280NIFP11-10000 SCCM C2H2
MOTT GAS FILTERS NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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MOTT過濾器Sentry系列SEN280NIFP11-10000 SCCM C2H2技術參數(shù)及介紹
